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光刻机是干什么用的
光刻机是用来制造芯片的。光刻机又被称为掩膜对准曝光机,在芯片生产中用于光刻工艺,而光刻工艺又是生产流程中最关键的一步,所以光刻机又是芯片生产中不可缺少的设备。
光刻机决定了芯片的精密尺寸,设计师设计好芯片线路,在通过光刻机将线路刻在芯片上,其尺度通常在微米级以上。
光刻机是芯片生产中最昂贵也是技术难度最大的设备,因为其决定了一块芯片的整体框架与功能。
其实生产高精度芯片并不难,只是生产速度太慢,而光刻机能快速生产高精度的芯片,所以很重要。
光刻机是干什么用的,工作原理是什么?
一、用途
光刻机是芯片制造光刻机是干什么用的的核心设备之一光刻机是干什么用的,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机光刻机是干什么用的;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。
用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板光刻机是干什么用的,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。
二、工作原理
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。
扩展资料
光刻机的结构:
1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。
2、激光器:也就是光源,光刻机核心设备之一。
3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。
4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。
5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。
6、遮光器:在不需要曝光的时候,阻止光束照射到硅片。
7、能量探测器:检测光束最终入射能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整。
8、掩模版:一块在内部刻着线路设计图的玻璃板,贵的要数十万美元。
9、掩膜台:承载掩模版运动的设备,运动控制精度是nm级的。
10、物镜:物镜用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小。
11、硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸,尺寸越大,产率越高。题外话,由于硅片是圆的,所以需要在硅片上剪一个缺口来确认硅片的坐标系,根据缺口的形状不同分为两种,分别叫flat、 notch。
12、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界振动干扰,并维持稳定的温度、压力。
参考资料来源:百度百科-光刻机
光刻机是干什么用的?一台价值30亿
光刻机是制造芯片的必备设备。芯片是干什么用的?可能有人会嘲笑这个问题,说它太初级,太简单;是的,有些人可能不知道芯片的用途,但世界上几乎每个人都在使用芯片。这不是夸张,是事实!
芯片的用途:手机、高铁、汽车、电网、家用电器、医疗设备、各种自动化设备等。
芯片的功能:执行运算,处理各种任务,输出数据和指令。芯片这么厉害,怎么做出来的?使用的设备是本文介绍的重要机器——光刻机。
现在很多人说,当年造光刻机比造原子弹还难。是的,这绝对是真的。
现在信息发达;科技进步;先进的设备;有很多专业人士有高深的知识,却做不出光刻机。难度显而易见。
这里有个问题要说明一下:中国也能做芯片,但是质量和规格跟不上当今尖端技术的需求。
今天我们国家能生产16纳米规格的芯片,和国际先进水平差距很大。(有消息说中国已经能做出7 nm光刻机,但没有得到证实。)
荷兰ASML公司据说开发了1纳米芯片掩模对准器;台湾的TSMC和韩国的三星集团争相购买。
谁拥有了设备,谁就能生产出最先进的产品,谁就能占领世界高端芯片市场,就会有大把的钱可赚,都要抢着买。
据说这样一台光刻机设备要花30亿人民币。
世界上生产光刻机最权威、最领先、最有实力的企业是荷兰的ASLM公司。
这个公司不是一兵一卒,有美国和欧盟的大力支持。
光刻机的生产组件来自多个国家,有一万多个组件。
还有另外两家日本公司也生产它们:佳能和尼康。正如你所看到的,这两家公司是世界知名的公司,曾经生产照相机和录像机。但是技术落后于荷兰公司。
光刻机是干什么用的?
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。
扩展资料
2019年与2020年在半导体领域,尤其是企业之间,光刻机是被炒得最热的一个话题,再怎么说芯片,最终都会说到光刻机上面去。
可能出口给我们DUV光刻机生产7nm的芯片,却将最先进的EUV光刻机出口给别的企业生产5nm芯片,即使不专门生产芯片的谷歌、高通,ASML也卖他们EUV光刻机。
参考资料:百度百科-光刻机